Основы технологии электронной компонентной базы
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и...
Издательство:
Инфра-Инженерия
Дата выхода: сентябрь 2021