Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств...
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники – вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе...
Издательство:
Юрайт
Дата выхода: декабрь 2015