А. Гарицын

Авторами проведен анализ достижений и проблем бурно развивающихся в настоящее время лазерных микротехнологий. Рассмотрены основные физико-химические особенности лазерностимулированных микропроцессов на поверхности твердого тела. Представлены результаты исследований отечественных и зарубежных специалистов по лазерной обработке микроструктур интегральных схем. Дается описание лазерного...

Издательство: Радио и связь
Дата выхода: январь 2001