книги Наука, техника, медицина Техника Теоретические основы Другие издания Энциклопедии, справочники

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов т.2

Код 842400

Наличие на складе

Склад в Москве

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 26.08.2022; планируемая отправка: 29.08.2022

Склад в С.-Петербурге

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 31.08.2022; планируемая отправка: 01.09.2022

Аннотация к книге "Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов т.2"

Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники.

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Бином
Серия: Нанотехнологии
Дата выхода: январь 2014
ISBN: 978-5-9963-0336-6
Объём: 252 страниц
Размеры(высота, ширина), см: 22 x 15
Обложка: твёрдая
Многотомное издание: том 2

Книга находится в категориях

Микроэлектроника Пятница 2018

Вместе с этой книгой покупают