Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное...
Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и...
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Издательство:
Бином
Дата выхода: январь 2014
Оставить комментарий