книги Наука, техника, медицина Естественные науки Точные науки Физика Другие издания по физике

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Код 807507

Наличие на складе

Склад в Москве

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 15.06.2024; планируемая отправка: 16.06.2024

Склад в С.-Петербурге

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 18.06.2024; планируемая отправка: 19.06.2024

Аннотация к книге "Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие"

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей...

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Бином
Серия: Нанотехнологии
Дата выхода: январь 2014
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Тираж: 770 экземпляров
Объём: 283 страниц
Масса: 401 г
Обложка: твёрдая

Книга находится в категориях

Пятница 2018

Вместе с этой книгой покупают

Просмотренные товары

Просмотренные категории

Пчеловодство Сборники и другие исполнители Энциклопедии, справочники Пульмонология, органы дыхания