Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники
Патрушева Т. Н.
В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нано- технологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных...
ISBN: 978-5-16-020936-4
Издательство:
Инфра-М
Дата выхода: апрель 2025
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись