Труды ФТИАН. Квантовые компьютеры, микро -и наноэлектоника
Коллектив авторов
Сборник посвящен актуальным проблемам математического моделирования субмикронных технологий и квантовых наноприборов. Основное внимание уделено наиболее важным проблемам, таким как фотолитография, травление и осаждение тонких пленок, электронная литография, надежность соединений и корпусов микросхем, квантовое поведение нанотранзисторов. Отдельно рассмотрены квантовые модели структур с...
ISBN: 978-5-02-036641-1
Издательство:
Наука
Дата выхода: октябрь 2008
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись