Технология полупроводниковых материалов
Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены...
ISBN: 978-5-8114-1290-7
Издательство:
Лань
Дата выхода: май 2012
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись