книги Наука, техника, медицина Техника Радиоэлектроника Микроэлектроника

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Код 5407110

Нет в продаже

Аннотация к книге "Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы"

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков...

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Техносфера
Дата выхода: январь 2023
ISBN: 9785948360393

Вместе с этой книгой покупают