книги Наука, техника, медицина Техника Радиоэлектроника Микроэлектроника

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Код 371183

Наличие на складе

Склад в Москве

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 16.05.2024; планируемая отправка: 17.05.2024

Склад в С.-Петербурге

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 19.05.2024; планируемая отправка: 20.05.2024

Аннотация к книге "Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы"

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков...

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Техносфера
Дата выхода: январь 2006
ISBN: 5-94836-039-3
Тираж: 1 500 экземпляров
Объём: 192 страниц
Масса: 380 г
Размеры(высота, ширина, толщина), см: 22 x 16 x 2
Обложка: твёрдая

Книга находится в категориях

Пятница 2018

Вместе с этой книгой покупают