книги Наука, техника, медицина Техника Радиоэлектроника Микроэлектроника

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике: Учебное пособие

Код 5017250

Нет в продаже

Аннотация к книге "Технологические процессы в микро- и наноэлектронике: Учебное пособие"

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Инфра-Инженерия
Дата выхода: май 2019
ISBN: 978-5-9729-0337-5
Объём: 352 страниц
Масса: 555 г

Вместе с этой книгой покупают