Конструктивно-технологические особенности субмикронных...
В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния...
ISBN: 978-5-94836-289-2
Издательство:
Техносфера
Дата выхода: сентябрь 2011
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись