Химические технологии в производстве микроэлектромеханических...
Родионов Ю. А.
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических...
ISBN: 978-5-8114-9566-5
Издательство:
Лань
Дата выхода: январь 2022
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись