Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств...
Ивашов Е. Н., Лучников П. А., Сигов А. С., Степанчиков С. В. ; Под ред. Сигова А.С.
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники – вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе...
ISBN: 9785534031966
Издательство:
Юрайт
Дата выхода: ноябрь 2017
Оставить комментарий