Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях....
Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
ISBN: 978-5-507-45480-8
Издательство:
Лань
Дата выхода: март 2023
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись