Инженерные основы измерений нанометровой точности
Книга известного специалиста Национальной Физической Лаборатории (NPL, Великобритания) последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нанометровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений (включая вопросы обеспечения...
ISBN: 978-5-91559-119-5
Издательство:
Интеллект
Дата выхода: январь 2012
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись