Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и...
ISBN: 978-5-369-01299-4
Издательство:
Инфра-М
Дата выхода: январь 2017
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись