Алмазы в микроэлектронике: от исследований к разработкам
Алтухов А.А.
В монографии автором изложены оригинальные методология и методы исследований алмазов, в частности для исследований использовались современные методы и оборудование, в т. ч. системы электрофизического контроля полупроводниковых структур, контактные и бесконтактные системы профилометрии, установки спектрофотометрического анализа в ИК, видимом и УФ диапазонах; методы и оборудование люминесцентного...
ISBN: 978-5-94836-716-3
Издательство:
Техносфера
Дата выхода: апрель 2025
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись