Основы автоматизации технологических процессов
Щагин А. В., Демкин В. И., Кононов В. Ю., Кабанова А. Б.
Пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления,...
ISBN: 978-5-534-21707-0
Издательство:
Юрайт
Дата выхода: июль 2025
Оставить комментарий