Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких...
Васильев В. Ю.
В книге представлена совокупность информации о процессах химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) неорганических тонкопленочных покрытий (ТП), являющихся конструкционной основой современных электронных приборов. Рассмотрены эволюционные изменения задач и подходов к получению ТП методами ХОГФ: типы и выбор реагентов, многочисленные варианты конструкций оборудования, выбор условий получения ТП....
ISBN: 978-5-507-48885-8
Издательство:
Лань
Дата выхода: май 2024
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись