High Quality Content by WIKIPEDIA articles! In photolithography, off-axis illumination is an optical system setup in which the incoming light strikes the photomask at an oblique angle rather than perpendicularly to it, that is to say, the incident light is not parallel to the axis of the optical system. The advantages of off-axis illumination can be explained in the context where the pattern on the photomask is a diffraction grating with a small pitch. The light that strikes the grating is...
High Quality Content by WIKIPEDIA articles! In photolithography, off-axis illumination is an optical system setup in which the incoming light strikes the photomask at an oblique angle rather than perpendicularly to it, that is to say, the incident light is not parallel to the axis of the optical system. The advantages of off-axis illumination can be explained in the context where the pattern on the photomask is a diffraction grating with a small pitch. The light that strikes the grating is diffracted in various directions. If the incident light is at a normal angle (along the axis of the optical system), then the zero-th diffracted order continues to be along the optical system axis, while the other orders are diffracted sideways, with the amount of deviation increasing as the pitch of the grating is decreasing. For sufficiently small pitch, only the zero-th diffraction order manages to make it through the projection lens, with the other orders being lost. The result is that no pattern is created on the wafer, since the zero-th diffraction order only contains the average of the photomask pattern.
Данное издание не является оригинальным. Книга печатается по технологии принт-он-деманд после получения заказа.
В англо-русский и русско-английский словарь включено свыше 3000 наиболее часто употребляемых в международной практике терминов, словосочетаний и сокращений, принятых в вакцинологии. Словарь адресован в первую очередь специалистам в области вакцинопрофилактики, включая научных работников, производителей иммунобиологических препаратов, врачей, медицинских сестер и других медицинских специалистов,...
Издательство:
ГЭОТАР-Медиа
Дата выхода: февраль 2019
Вы никогда не будете воспринимать архитектуру, как прежде, если начнете раздумывать о доставшихся нам в наследство известных, незамеченных или даже забытых зданиях. Семьдесят увлекательных, провокационных суждений автора дают возможность увидеть заново работы величайших архитекторов и инженеров всех времен во всем мире. Почему идея ярко раскрашенного Пантеона считалась либо ошибочной, либо...
Издательство:
Ad Marginem
Дата выхода: февраль 2019
Алгоритмы — это сердце и душа computer science. Без них не обойтись, они есть везде — от сетевой маршрутизации и расчетов по геномике до криптографии и машинного обучения. «Совершенный алгоритм» превратит вас в настоящего профи, который будет ставить задачи и мастерски их решать как в жизни, так и на собеседовании при приеме на работу в любую IT-компанию. В этой книге Тим Рафгарден — гуру алгоритмов —...
Оставить комментарий