книги Наука, техника, медицина Медицина

Aarthi Venkateshan

Manufacturable Process/Tool for high-k/metal gate. Dielectric Stacks for Sub-45 nm CMOS

Код 911952

ISBN: 978-3-8364-8156-4
204 страницы

июль 2011
Книга по требованию
331 г

Нет в продаже

Аннотация к книге "Manufacturable Process/Tool for high-k/metal gate. Dielectric Stacks for Sub-45 nm CMOS"

Off state leakage current related power dominates the CMOS heat dissipation problem of state of the art silicon integrated circuits. In this study, this issue has been addressed in terms of a low-cost single wafer processing (SWP) technique using a single tool for the fabrication of high-? dielectric gate stacks for sub-45 nm CMOS. A system for monolayer photoassisted deposition was modified to deposit high-quality HfO2 films with in-situ clean, in-situ oxide film deposition, and in-situ anneal capability. The system was automated with Labview 8.2 for gas/precursor delivery, substrate temperature and UV lamp. The gold-hafnium oxide-aluminum (Au-HfO2-Al) stacks processed in this system had superior quality oxide characteristics with gate leakage current density on the order of 1 x 10-12 A/cm2 @ 1V and maximum capacitance on the order of 75 nF for EOT=0.39 nm. Achieving low leakage current density along with high capacitance demonstrated the excellent performance of the process developed. Detailed study of the deposition characteristics such as linearity, saturation behavior, film thickness and temperature dependence was performed for tight control on process parameters. Using Box-Behnken design of experiments, process optimization was performed for an optimal recipe for HfO2 films. UV treatment with in-situ processing of metal/high-? dielectric stacks was studied to provide reduced variation in gate leakage current and capacitance. High-resolution transmission electron microscopy (TEM) was performed to calculate the equivalent oxide thickness (EOT) and dielectric constant of the films. Overall, this study shows that the in-situ fabrication of MIS gate stacks allows for lower processing costs, high throughput, and superior device performance.

Данное издание не является оригинальным. Книга печатается по технологии принт-он-деманд после получения заказа.

Оставить замечание о найденной опечатке Версия для печати

Оставить комментарий

Текст комментария

Оцените книгу:

Издательство:	Книга по требованию
Дата выхода:	июль 2011
ISBN:	978-3-8364-8156-4
Объём:	204 страниц
Масса:	331 г
Размеры(высота, ширина, толщина), см:	23 x 16 x 2

Вместе с этой книгой покупают

Эрнест и Селестина: Уличные музыканты бумажная книга

Габриэль Венсан

18.68 USD

В корзину

Свои. Путешествие с врагом электронная книга

Рута Ванагайте

Нет в продаже

Как бы поступила Клеопатра? Как великие женщины решали ежедневные проблемы: от Фриды Кало до Анны Ахматовой

Как бы поступила Клеопатра? Как великие женщины... бумажная книга

Бет Коутс

Нет в продаже

Защищенный геном. Научно обоснованная программа активации 5 защитных функций организма, которая позволит избежать инфекций и поможет справиться с заболеваниями

Защищенный геном. Научно обоснованная программа... бумажная книга

Уильям Ли

Нет в продаже

Жертвы моды: опасная одежда прошлого и наших дней бумажная книга

Дейвид Элисон Мэтьюс

Нет в продаже

Лечение психодрамой. Теория практика бумажная книга

Райнхард Крюгер

21.64 USD

В корзину

Эрнест и Селестина: Уличные музыканты

бумажная книга

Габриэль Венсан

Cерия книжек-картинок о приключениях добродушного медведя по имени Эрнест и его «приёмной дочери», маленькой мышки Селестины принесла бельгийской художнице Габриэль Венсан (1928-2000) мировую известность. Нежные акварельные рисунки Венсан настолько выразительны, что почти не требуют слов. При помощи лёгких линий и едва заметных штрихов ей удаётся передать малейшие оттенки эмоций, самые тонкие...

Издательство: Мелик-Пашаев
Дата выхода: декабрь 2018

18.68 USD

В корзину

Лечение психодрамой. Теория практика

бумажная книга

Райнхард Крюгер

Райнхард Крюгер — доктор медицины, психиатр, психотерапевт, один из наиболее ярких представителей немецкой школы психодрамы. Разработанная Крюгером методология терапии, впервые ставшая доступной широкому кругу читателей в книге“Творческое взаимодействие” (1997), считается в настоящее время в Германии классической. “Психодрама возникла как метод лечения психических заболеваний, но в современной...

Издательство: Класс
Дата выхода: сентябрь 2017

21.64 USD

В корзину