Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях....
Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов. Предназначено для бакалавров, обучающихся по...
ISBN: 978-5-507-45479-2
Издательство:
Лань
Дата выхода: март 2023
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись