книги

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов

Код 5247245

новинка

Наличие на складе

Склад в Москве

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 04.05.2021; планируемая отправка: 05.05.2021

Склад в С.-Петербурге

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 26.04.2021; планируемая отправка: 27.04.2021

Аннотация к книге "Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов"

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Планета музыки
Дата выхода: март 2021
ISBN: 978-5-8114-5788-5
Объём: 220 страниц

Книга находится в категориях

новинки

Вместе с этой книгой покупают