книги Наука, техника, медицина Техника Радиоэлектроника Микроэлектроника

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов, 2-е изд., стер

Код 5318332

  • ISBN: 978-5-8114-9566-5
  • 220 страниц
  • январь 2022
  • Лань

Наличие на складе

Склад в Москве

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 03.08.2025; планируемая отправка: 04.08.2025

Склад в С.-Петербурге

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 31.07.2025; планируемая отправка: 01.08.2025

Аннотация к книге "Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов, 2-е изд., стер"

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Лань
Дата выхода: январь 2022
ISBN: 978-5-8114-9566-5
Объём: 220 страниц

Вместе с этой книгой покупают

Просмотренные товары

Просмотренные категории

Среды Легкое чтение в непростых условиях - 1