МЭМС: конструкции, технологии, приложения
Белоус А.И., Чижик С.А.
В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительно развивающихся на стыке микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений – микроэлектромеханических систем (МЭМС). Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию – от студентов, аспирантов и преподавателей технических вузов,...
ISBN: 978-5-94836-688-3
Издательство:
Техносфера
Дата выхода: октябрь 2024
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись