книги

-16%

Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А.

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Код 4902973

ISBN: 978-5-94836-519-0
464 страницы

июль 2018
Техносфера
Мир материалов и технологий
867 г

Бумажная книга

13.69 USD

16.29 USD

Добавить в корзину

Наличие на складе

Склад в Москве

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 04.06.2025; планируемая отправка: 05.06.2025

Склад в С.-Петербурге

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 07.06.2025; планируемая отправка: 08.06.2025

Аннотация к книге "Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения"

Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (10"-1012 см-3), минимальный разброс ионов по энергиям (Aei < 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (Ю^-ИО-1 Па) и низкую энергетическую цену иона (30-^80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ICP для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD. .За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. .Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Оставить замечание о найденной опечатке Версия для печати

Оставить комментарий

Текст комментария

Оцените книгу:

Издательство:	Техносфера
Серия:	Мир материалов и технологий
Дата выхода:	июль 2018
ISBN:	978-5-94836-519-0
Объём:	464 страниц
Масса:	867 г

Вместе с этой книгой покупают

-5%

Нельзя, но можно. История АндерСона в смыслах, рецептах и цифрах

Нельзя, но можно. История АндерСона в смыслах,... бумажная книга

Евгения Пищикова

17.93 USD 17.04 USD

В корзину

Театральный дневник любителя драматического искусства

Театральный дневник любителя драматического... бумажная книга

Константин Сергеевич...

10.43 USD

В корзину

-5%

Как любить ребенка бумажная книга

Януш Корчак

20.31 USD 19.29 USD

В корзину

-15%

Зацепить 13-го бумажная книга

Хлоя Уолш

16.31 USD 13.87 USD

В корзину

Отдел бумажная книга

Алексей Сальников

8.08 USD

В корзину

-5%

Взгляни на дом свой, ангел бумажная книга

Томас Вулф

24.69 USD 23.46 USD

В корзину

Нельзя, но можно. История АндерСона в смыслах, рецептах и цифрах

бумажная книга

Евгения Пищикова Анастасия Татулова Дмитрий Соколов-Митрич

Это история о становлении и развитии российского бренда — сети кафе-кондитерских «АндерСон», рассказанная «снаружи» и «изнутри». В декабре 2009 года Анастасия Татулова арендовала маленький производственный цех и открыла на 150 квадратных метрах первое кафе в спальном районе Москвы. В 2018 году «АндерСон» — это сеть, которая насчитывает более 50 кафе в России, Белоруссии, Азербайджане, Казахстане и где...

Издательство: Манн, Иванов и Фербер
Дата выхода: февраль 2019

17.93 USD 17.04 USD

В корзину

Театральный дневник любителя драматического искусства

бумажная книга

Константин Сергеевич Станиславский

Вниманию читателей предлагается книга выдающегося отечественного театрального режиссера, актера и педагога К.С.Станиславского (1863--1938), представляющая развернутое описание его творческих исканий. Центральное место в книге занимают "Художественные записи" 1877--1894 годов, являющиеся своего рода творческой исповедью автора, --- один из важнейших документов, характеризующих начало творческого пути...

Издательство: ЛКИ
Дата выхода: октябрь 2018

10.43 USD

В корзину

Как любить ребенка

бумажная книга

Януш Корчак

Под одной обложкой собраны две работы выдающегося польского гуманиста, педагога и писателя Януша Корчака. "Право ребенка на уважение", впервые опубликованное в Варшаве в 1929 году, называют манифестом "педагогики сердца" - программным сочинением Корчака, в котором он изложил свои основные взгляды на воспитание детей. Цикл "Как любить ребенка" включает четыре самостоятельных сочинения: "Ребенок в семье",...

Издательство: Бинера
Дата выхода: февраль 2019

20.31 USD 19.29 USD

В корзину

15%

Зацепить 13-го

бумажная книга

Хлоя Уолш

Ее жизнь — борьба. Борьба за каждую спокойную минуту без насмешек и издевательств. Его жизнь — борьба. Борьба с соперниками на поле и с болью, о которой никто не должен знать. На первый взгляд, Шаннон и Джонни настолько разные, насколько вообще можно себе представить. Жертва школьного буллинга и домашнего насилия, Шаннон никогда не чувствует себя в безопасности и хочет только одного — стать невидимкой....

Издательство: Махаон
Дата выхода: январь 2024

16.31 USD 13.87 USD

В корзину

Отдел

бумажная книга

Алексей Сальников

Игорь в принципе не ждал хорошего от этой работы: заброшенная котельная в промзоне, коллеги с волчьими билетами, ну какие там могли быть цели и задачи. Надо напиться, думает Игорь, поднимаясь к вашим соседям.Раз-два-три-четыре, главное не перепутать этаж.Слышите шум наверху? Это не дети расшалились, это выстрелы. Алексей Сальников - российский поэт и прозаик. Публиковался в альманахе «Вавилон», журналах...

Издательство: Livebook
Дата выхода: декабрь 2018

8.08 USD

В корзину

Взгляни на дом свой, ангел

бумажная книга

Томас Вулф

Пожалуй, лучшую аннотацию к роману Томаса Вулфа «Взгляни на дом свой, ангел» написал другой знаменитый американский писатель Рэй Брэдбери: «Вот книга, ее написал исполин, который родился в Эшвилле, штат Северная Каролина, в 1900 году. Он давно уже обратился в прах, а когда-то написал четыре огромных романа. Он был как ураган. Он вздымал горы и вбирал в себя вихри. 15 сентября 1938 года он умер в Балтиморе,...

Издательство: Время
Дата выхода: декабрь 2018

24.69 USD 23.46 USD

В корзину

Просмотренные товары

Учение о воплощении желаний в жизнь. Просите - и дано будет вам. Часть 1

Учение о воплощении желаний в жизнь. Просите -... бумажная книга

Эстер Хикс

7.72 USD

В корзину

Маска любви бумажная книга

Картленд Барбара

Нет в продаже

Тайны спецслужб III Рейха. " Информация к размышлению"

Тайны спецслужб III Рейха. " Информация к... бумажная книга

Т.К. Гладков

Нет в продаже

-28%

Охотское море. Энциклопедия бумажная книга

И. С. Зонн

10.84 USD 7.8 USD

В корзину

Учение о воплощении желаний в жизнь. Просите - и дано будет вам....

бумажная книга

Эстер Хикс Джерри Хикс

Серия "Ченнелинг" - для тех, кто хочет стать свободнее. "Учение о воплощении желаний в жизнь. Просите - и дано будет вам" - книга, которую Эстер и Джерри Хикс написали под руководством высокоразвитых и дружественных человеку сущностей. Так получилось "учение Абрахама"... Наша жизнь состоит из того, что происходит снаружи (события), и из того, что творится внутри (эмоции). Очевидно, что это связанные и оказывающие...

ISBN: 978-5-9573-1297-0
Издательство: ИГ "Весь"
Дата выхода: апрель 2008

7.72 USD

В корзину

28%

Охотское море. Энциклопедия

бумажная книга

И. С. Зонн А. Г. Костяной

Издание посвящено одному из российских дальневосточных морей - Охотскому морю, входящему в акваторию Тихого океана. Энциклопедия содержит более 700 статей о гидрографических и географических объектах, а также гидрологических особенностях моря. Представлены наиболее значительные природные объекты: острова, полуострова, заливы, реки, их географические особенности, хозяйство, культура и история, а также...

ISBN: 978-5-7133-1354-8
Издательство: Международные отношения
Дата выхода: январь 2010

10.84 USD 7.8 USD

В корзину

Просмотренные категории

Depeche Mode ССУЗ (колледж, техникум)