Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях....
Александрова О. А., Лебедев А. О., Мараева Е. В.
Представлены основные виды эпитаксиальных технологий. Рассмотрено конструктивное оформление и основные параметры наиболее распространенных видов эпитаксиального роста. Сформулированы требования к эпитаксиальным подложкам и описаны основные этапы их подготовки для эпитаксии. Рассмотрены особенности зародышеобразования в гетерогенных системах. Представлена классификация видов и механизмов...
ISBN: 978-5-507-45481-5
Издательство:
Лань
Дата выхода: март 2023
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись