книги

Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб. статей 1986-1987 гг.: Пер. с англ

Код 4814823

  • ISBN: 5-03-000280-4
  • 349 страниц
  • январь 1989
  • Мир

Нет в продаже

Аннотация к книге "Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб. статей 1986-1987 гг.: Пер. с англ"

Сборник обзорных статей американских, европейских и канадских специалистов, в которых обобщаются и анализируются современные методы распыления материалов под действием ионных пучков и частиц плазмы, используемые в микроэлектронике, космической и термоядерной технологии и др. Рассмотрены методы анализа и моделирования распыления материалов, в том числе многослойных покрытий и многокомпонентных материалов, описаны методы расчета топологии поверхностей, образующихся под действием ионной бомбардировки. Для специалистов в области радиационного материаловедения, микроэлектроники, физической электроники, физики плазмы, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей.

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Мир
Дата выхода: январь 1989
ISBN: 5-03-000280-4
Объём: 349 страниц

Вместе с этой книгой покупают