Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова....
ISBN: 978-5-9221-1150-8
Издательство:
Физматлит
Дата выхода: ноябрь 2009
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись