МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники
Акчурин Р.Х., Мармалюк А.А.
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты...
ISBN: 978-5-94836-521-3
Издательство:
Техносфера
Дата выхода: октябрь 2018
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись