Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические...
Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А.
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда...
ISBN: 978-5-94836-519-0
Издательство:
Техносфера
Дата выхода: июль 2018
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись