Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных...
Гуляев Ю.В., Иванов В.И., Лучников П.А. (Ред.)
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными...
ISBN: 978-5-534-03170-6
Издательство:
Юрайт
Дата выхода: январь 2017
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись