В книге рассматриваются вопросы релаксации полупроводниковой пленки за счет энергии деформации. Учитывается одновременно изменение упругой энергии несоответствия, как за счет дислокационной перестройки, так и за счет механизма неоднородного распределения состава компонент пленки. Сформулированы системы уравнений описывающих процессы релаксации. Построены компьютерные модели пленки SiGe...
ISBN: 978-5-466-05158-2
Издательство:
КноРус
Дата выхода: ноябрь 2023
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись