Физика гетероэпитаксиальных пленок. Особенности получения...
В данном учебном пособии излагаются основные принципы технологии создания гетероструктур на основе сегнетоэлектриков, обсуждаются различные методы, их достоинства и недостатки. Подробно анализируется метод высокочастотного катодного распыления для получения пленок сложных оксидов. Предназначена для научных работников, преподавателей, аспирантов, студентов физических вузов.
Издательство:
Содействие
Дата выхода: январь 2010
