книги Наука, техника, медицина Естественные науки Точные науки Физика Научные издания Электричество и магнетизм

Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения

Код 38429

Нет в продаже

Аннотация к книге "Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения"

Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разрядынизкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей ВУЗов, а также для научных работников и инженеров.

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Издательство МФТИ
Дата выхода: январь 2001
ISBN: 5-7417-0006-3
Тираж: 2 500 экземпляров
Объём: 320 страниц

Вместе с этой книгой покупают