книги Наука, техника, медицина Техника Радиоэлектроника Микроэлектроника

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Учебно-справочное руководство

Код 4359065

Нет в продаже

Аннотация к книге "Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Учебно-справочное руководство"

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного...

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Интеллект
Дата выхода: март 2016
ISBN: 978-5-91559-215-4
Объём: 320 страниц
Обложка: твёрдая

Книга находится в категориях

распродажа

Вместе с этой книгой покупают