книги Наука, техника, медицина Техника Теоретические основы Другие издания Энциклопедии, справочники

Ионно-плазменые процессы в тонкопленочной технологии

Код 740597

Нет в продаже

Аннотация к книге "Ионно-плазменые процессы в тонкопленочной технологии"

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.
Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления...

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Техносфера
Серия: Мир материалов и технологий
Дата выхода: февраль 2010
ISBN: 978-5-94836-222-9
Тираж: 1 500 экземпляров
Объём: 528 страниц
Масса: 880 г
Обложка: твёрдая

Книга находится в категориях

распродажа

Вместе с этой книгой покупают